Vibrující membrána (piezo) pomocí ultrazvukové technologie rozkládá vodu na mikrokapičky, které jsou následně pomocí ventilátoru rozptylovány do ovzduší, kde se odpařují. Viditelná pára je studená a zdraví neškodná. Ultrazvukové přístroje nepotřebují tolik el. energie a mají dostatečný výkon. Při vzniku vodní páry ultrazvukem dochází i k uvolnění minerálních látek do ovzduší, proto je nutné, aby přístroje s touto technologií byly vybaveny vodními filtry.